研究施設

当研究室は結晶育成、スパッタ工程、デバイス作製、特性評価などの研究手法に応じて、いくつかの実験室を設けています。

クリーンルーム（A1-306室）

A1－306クリーンルームその１
A1－306クリーンルームその２
    • 電子ビーム蒸着装置（ULVAC）
    • マグネトロンスパッタ装置（ULVAC）
    • Off-axisスパッタ装置（ULVAC）
    • 抵抗加熱蒸着装置
    • イオンミリング装置（Veeco）
    • 高速遠赤外アニール炉
    • クリーンベンチ
    • 工業用顕微鏡 Nikon optiphoto
    • 実態顕微鏡 Leica M125他

電気炉室（A1-308室）

A1-308電気炉室
    • 単結晶育成フローティングゾーン炉
    • 高温マッフル炉
    • マッフル炉
    • 雰囲気調整炉
    • らいかい機
    • プレス機
    • ドラフト
    • ロースピードダイヤモンドカッター

物性測定室（A1-310）

310物性測定室
    • tsunamiフェムト秒レーザーとテラヘルツ分光システム
    • IMRA フェムト秒レーザー
    • 3Heクライオスタット
    • Quantum Design PPMS
    • Oxford 12Tマグネット
    • 他測定器多数
    • 実体顕微鏡Leica MZ10, S8Apo, S6
物理特性測定システムと関連する制御・測定装置

院生・秘書居室（A1-309、A1-312）

A1-312秘書業務・打ち合わせ室
    • 計算機
      • HP workstation Z400 (Xeon W3565)
      • Dell Precision 3450 (Xeon W1290, 64 GB)+Ultrasharp 38 Monitor
        • 有限要素法電磁界シミュレーションソフトCST studio suite
    • プリンター
    • 複写機

准教授室（A1-307）

十分な広さがあり3～4名で打ち合わせができます。

その他の装置（A1地下共用実験室）

テラヘルツ発振検出分光装置
    • Martin-Puplettテラヘルツ分光装置
    • X線分光装置（リガク）
    • レーザー3次元顕微鏡（キーエンス）

 クラス1000地下クリーンルーム

  • マスクアライナー他フォトリソグラフィー装置一式
  • ニコン工業用顕微鏡ECLIPSE LV100
  • Wraymer FLOYD-2A
  • ヤマト科学真空恒温槽DP-200

電子工学専攻共用装置

    • EDS機能付きFE-SEM（日本電子）
    • デクタク膜厚計
    • ダイシング装置