研究施設

当研究室は結晶育成、スパッタ工程、デバイス作製、特性評価などの研究手法に応じて、いくつかの実験室を設けています。

クリーンルーム(A1-306室)

A1-306クリーンルームその1
A1-306クリーンルームその2
    • 電子ビーム蒸着装置(ULVAC)
    • マグネトロンスパッタ装置(ULVAC)
    • Off-axisスパッタ装置(ULVAC)
    • 抵抗加熱蒸着装置
    • イオンミリング装置(Veeco)
    • 高速遠赤外アニール炉
    • クリーンベンチ
    • 工業用顕微鏡 Nikon optiphot

電気炉室(A1-308室)

A1-308電気炉室
    • 単結晶育成フローティングゾーン炉
    • 高温マッフル炉
    • マッフル炉
    • 雰囲気調整炉
    • らいかい機
    • プレス機
    • ドラフト
    • ロースピードダイヤモンドカッター

物性測定室(A1-310)

310物性測定室
    • tsunamiフェムト秒レーザーとテラヘルツ分光システム
    • IMRA フェムト秒レーザー
    • 3Heクライオスタット
    • Quantum Design PPMS
    • Oxford 12Tマグネット
    • 他測定器多数
物理特性測定システムと関連する制御・測定装置

院生・秘書居室(A1-309、A1-312)

A1-312秘書業務・打ち合わせ室
    • 計算機
    • 複写機

准教授室(A1-307)

十分な広さがあり3~4名で打ち合わせができます。

 

その他の装置(A1地下共用実験室)

テラヘルツ発振検出分光装置
    • Martin-Puplettテラヘルツ分光装置
    • X線分光装置(リガク)
    • レーザー3次元顕微鏡(キーエンス)
    • マスクアライナー他フォトリソグラフィー装置一式(クラス1000クリーンルーム内)

電子工学専攻共用装置

    • EDS機能付きFE-SEM(日本電子)
    • デクタク膜厚計
    • ダイシング装置